Implantace iontů : brzdění a dolet iontů v pevných látkách

To chci

Referát je věnován ztrátám energie iontů (s energií řádu 101 až 102 keV), pohybujících se v amorfních nebo monokrystalických terčících, a s tím spojené teorii doletu iontů a jeho rozptylu. Stručně se zmiňuje též o počítačové simulaci implantace iontů a o experimentálních metodách pro měření implantačních profilů. Ilustrativní celý popis

Uloženo v:

Podrobná bibliografie

Hlavní autor
Jan Celý, 1936-
Typ dokumentu
Články
Publikováno v
Československý časopis pro fyziku. -- ISSN 0009-0700. -- Svazek 24, číslo 1 (1974), strana 21-40
Témata
Bibliografie
Obsahuje bibliografické odkazy

:

Informace o knihovně

Cíl Přístupnost Odkaz Zdroj odkazu
Digitální knihovna Dostupné Plný text Knihovna akademie věd - Kramerius